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Voegtlin GSC-C5SA-FF12传感器
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※※※张瑞 188-24-24-3080（V同）
※※※QQ 306-167-1820
| 测量范围 | |
|---|---|
| 空气/全量程可自由选择 | 车身尺寸 ?” 从 0 … 25 百万/分钟到 0 … 60 ln/min（从 0 … 27 SCCM 到 0 … 64 SLPM）车身尺寸 ?” 从 0 … 60 ln/min 到 0 … 450 ln/min（从0 … 65 SLPM 至 0 … 480 SLPM） |
| 仪器版本 | |
| “标准”经济的解决方案 | 精度：满量程的 ± 1.0%* 量程比：1 : 50 |
| “高性能”具有最高精度和量程比（适用于 GSM < 200 ln/min (200 SLPM) /GSC < 150 ln/min (150 SLPM)（空气）） | 精度：满量程的 ± 0.3% + 读数的 ± 0.5%* 量程比：1 : 100*对于模拟信号可能存在 ±0.25% 的附加误差 |
| 性能数据 | |
| 介质（真实气体校准） | 空气 O2 N2、He、Ar、CO2、H2、CH4、C3H8（应要求提供其他气体和气体混合物）*O2 和 N2 用空气校准 |
| 响应时间 | 仪表 (GSM)：± 80ms 控制器 (GSC)：± 500ms**取决于设备配置和 SEMI 标准 E17-1011，优化条件下范围的 5-100% |
| 重复性 | ± 0.2% 满量程（根据 SEMI 标准 E56-0309） |
| 长期稳定性 | < 测量值的 1% / 年 |
| 电源 | 24 Vdc (18 – 30 Vdc)，15 Vdc 应要求提供 |
| 电流消耗标准 | 仪表 (GSM)：最大 100毫安；控制器 (GSC)：最大。250 mA（GSC 阀类型 8 最大 490mA） |
| 电流消耗 Profinet RT / EtherCAT | 仪表 (GSM)：最大 125 毫安；控制器 (GSC)：最大。340 mA（GSC 阀类型 8 最大 560mA） |
| 操作压力 | 0.2 – 11 bar a (3 – 160 psia) / GSC 阀门类型 4.5 和 8 max。8 bar (120 psia) |
| 温度（环境/气体） | 0 – 50°C (32 – 122°F) |
| 车身材料 | 阳极氧化铝，可选不锈钢电解抛光 |
| 印章 | FKM、EPDM、可选FFKM |
| 压力敏感度 | < 0.2% / bar 读数（典型 N2） |
| 温度敏感性 | 每 1°C 0.025% FS 测量范围类型（<0.012% 每 1°F） |
| 热身时间 | < 1 秒。完全准确 |
| 集成与安装 | |
| 输出信号模拟 | 0-20 mA、4-20 mA、0-5 V、1-5 V、0-10 V、2-10 V |
| 输出信号数字 | RS-485；Modbus RTU（从站）；LabView-VI 可用选项：Profibus DP-V0、DP-V1 / Profinet RT / EtherCAT |
| 过程连接 | G?”（BSPP* 内螺纹）高达 60 ln/min (64 SLPM)G?”（BSPP* 内螺纹）高达 450 ln/min (480 SLPM)*英国标准平行管道 |
| 入口部分 | 不需要 |
| 电气连接 | Sub D 型插头，9 极 |
| 安装方向 | 任何位置（5 bar 以上或垂直安装请咨询制造商） |
| 安全 | |
| 测试压力 | 16 巴 (240 磅/平方英寸) |
| 泄漏率 | < 1 x 10-6 mbar l/s He |
| 入口防护等级 | IP50 |
| 电磁兼容 |
EN 61326-1 |